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    西克:半導體加工行業應用案例分享

      2022年03月03日  

      縱觀半導體設備的發展歷史,不難發現半導體設備緊隨全球芯片制造中心而不斷東移:從70-80年代的美國,到80-90年代的日本,再到90年代后期的中國臺灣與韓國。

      隨著中國高端制造技術的不斷發展,與本身龐大的市場需求相互幫襯,未來十年,中國有望成為半導體芯片制造的全球中心。

      目前,在國家重大科技專項的支持下,集成電路主要工藝設備如PVD、PECVD、CMP、介質刻蝕機、CMP等技術均有顯著提升。而IC晶圓生產線的設備國產化率也在不斷提高。設備技術的提升也拉高了對光學傳感器性能的需求。除了對精度、穩定性等性能要達到極高的標準外,傳感器也被要求實現更多的檢測任務。

      作為有著超過75年歷史的工業傳感器領先生產廠商,SICK具有深厚的技術積累,豐富的產品種類,可以為半導體設備廠商提供更多樣的產品、更優異的性能以及更專業的服務。

    1、硅板厚度測量

      產品系列:OD5000位移測量傳感器

      訂貨號:6063621

      客戶應用:

      太陽能硅片分選機,客戶需求在皮帶輸送線上檢測硅片的厚度,精度要求為2um

      采用2*OD5000-C30T05上下組合方式,來測量硅片的厚度

      客戶利用上位機接受數據做算法處理,判定硅片的規格

      客戶受益:

      雙頭側厚,通過以太網接口和集成在傳感器內部評價單元,無需額外控制器計算

      高達80kHZ測量頻率,準確測量微小變化

      激光定位更加柔性,可視覺,產品定位精度更高

      實時在線測量,相對于線激光方案,節省成本,精度更高

    2、石英載具到位檢測

      產品系列:WTF12G

      訂貨號:1065719

      客戶應用:

      石英載具裝載硅片進行熱處理、涂層等一系列工藝流程。

      需要對半透明石英載具進行穩定到位檢測,由于熱處理中溫度較高,無法安裝反射板,只能選擇漫反射。

      檢測距離較遠,無法使用V鏡頭光電傳感器。

      客戶受益:

      WTF12G是漫反射前景抑制型原理,無需反射板,只需對背景進行示教即可

      可以穩定地檢測透明、半透明等物體

      檢測距離可達700mm

    3、硅片檢測:

      產品系列:G2F,WTV4FE

      WTV4FE訂貨號:1105444

      GTB2F訂貨號:1093737

      客戶應用:

      檢測硅片的到位與有無,硅片表面光學性能特殊,普通漫反射光電很難穩定檢測

      安裝空間十分有限,需要迷你型尺寸光電

      無法安裝鏡反射與對射型光電

      客戶受益:

      G2F扁平型外觀設計,可以安裝在狹小的空間中

      獨特的V型鏡頭設計,可穩定檢測高反光、透明薄膜,深黑色吸光平面。

      WTV4FE可進行旋按式示教,V鏡頭檢測距離增加至50mm

      產品系列:WTT4SLC

      訂貨號:1097190

      應用需求要點:

      檢測距離400-500mm

      檢測邊緣,客戶需要光斑盡可能小

      安裝位置有限制,只能接受漫反射光電

      客戶受益:

      WTT4SLC時間飛行原理,可穩定從傾斜角度或側面檢測帶有弧度的物體,并且不受物體表面顏色和材質的影響

      具有優異的背景抑制性能,可穩定屏蔽背景干擾

      漫反射檢測,最遠可達到1.3m檢測距離

      光斑聚攏,4mm(1m),可以從側面檢測薄片邊緣

    4、Roller(輸送輪)粗糙度區分:

      產品系列:Glare系列光澤度傳感器

      應用需求要點:

      現場面板傳輸設備運輸基板一段時間后,基板與Roller摩擦導致Roller表面光滑,失去輸送力。

      不同摩擦情況不同導致基板受力不均勻,造成良率下降,稼動率降低,客戶使用Glare光澤度傳感器對Roller表面粗糙程度進行檢測。

      客戶受益:

      原本客戶解決方法為工作人員定期停機檢查,使用自制比對卡進行人眼對比觀察。

      使用Glare光澤傳感器后客戶受益如下:

      降低檢測誤差

      減少檢查時間

      節省人力資源

    標簽:西克  IC  我要反饋
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